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井式退火炉旋转密封用什么密封
点击次数:113  更新时间:2019-03-02  【打印此页】  【关闭

坩埚升降机构:坩埚升降机构的垂直运动采用双导柱直线轴承结构。稀土永磁直流电机组通过齿带和谐波减速器驱动滚珠丝杠副完成,使坩埚杆、双导柱和滚动丝杠的布置合理,使传动部件的刚度好,传动稳定准确。退火炉坩埚旋转电机也采用稀土永磁直流电机组。采用多楔带传动实现坩埚旋转,传动扭矩大,减少了齿带振动,提了传动稳定性。旋转密封采用磁流体密封,垂直运动密封采用不锈钢波纹管。光电编码器与坩埚升降螺杆同轴安装,准确显示坩埚位置。

晶种升降机构:晶种升降机构设有软轴升降机构,可水平随动。稀土永磁直流电机通过减速比大的精密减速器驱动滚动花键副,实现软轴提升机的水平随动和旋转提升运动。设置螺旋轮水平随动限位功能,调整晶种升降范围,限制晶种升降机构的保护限位。整个起升机构采用空心轴旋转,机构平衡调整,免起升机构运动时产生振动。与起升轮同轴安装精密光电编码器,为计算机提供的起升值,实现控制。旋转电机通过多楔带旋转,旋转密封采用磁流体密封。优化后的刷组件安装在种晶旋转轴承的外侧,便于安装调试。新刷架的碳刷具有弹性补偿功能,证信号的传输。

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